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云博在线登录官网车间光催化技术突破

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  • 发布时间: 2025-05-24

中科院研发可见光催化涂层 破解云博在线登录官网车间臭氧污染难题

技术背景传统紫外光催化技术虽能分解有机污染物,但产生的臭氧二次污染长期困扰半导体行业。中科院合肥物质科学研究院历时7年攻关,成功开发出新型氮掺杂二氧化钛可见光催化剂。

创新亮点

  1. 光谱响应突破:将光响应阈值从387nm拓展至520nm,实现普通LED照明下的持续催化

  2. 臭氧零产生:通过晶面调控技术,反应路径选择性达99.7%

  3. 自清洁循环:与华星光电合作开发的"蜂巢式"涂层结构,使表面接触角动态变化5°-150°

应用实效在长江存储的晶圆封装车间实测显示:

  • VOCs去除率:92.4%(甲苯/二甲苯混合体系)

  • 能耗成本:较传统UV系统降低68%

  • 维护周期:从2周延长至6个月

行业影响该技术已形成17项核心专利,打破日本企业在光催化领域的长期垄断。预计到2026年,可带动相关装备产业50亿元产值。

本文网址: /news/245.html

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